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      英國愛德華真空泵
    Edwards_EH1200_2愛德華真空泵
         詳細描述:

     EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎,仍是最受歡迎的泵,可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
    機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下,因此高度可靠。

    愛德華真空泵EH系列被廣泛應用于半導體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光
    愛德華真空泵EH系列功能和優勢
    1.適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。
    2.它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。
    3.EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供:
    4.安靜的無振動運行。
    5.牢靠且防腐蝕。
    6.先進的軸封技術,處理艙中不會出現油污染
    7.防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
    8.經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護要求降到最低。
    9.軸封的設計經過優化,可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要最高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。
    10.動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小,而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。

     

    EH1200

    EH2600

    EH4200

    排量(工作容積)

    1195 m3h-1 / 715 ft3min-1

    2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1

    4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1

    使用前級泵時的有效抽速

    840 m3h-1 / 495 ft3min-1

    1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1

    3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1

    泵的壓力差

    0-90 mbar/0-68 Torr

    0-80 mbar/0-60 Torr

    0-60 mbar / 0-45 Torr

    進氣口連接

    ISO160

    ISO160

    ISO250

    出口連接

    ISO100

    ISO100

    ISO100

    轉速

    0-2900 rpm

    0-2900 rpm

    0-2900 rpm

    連續進氣口工作壓力

    0-1000 mbar/0-760 Torr

    0-1000 mbar/0-760 Torr

    0-1000 mbar/0-760 Torr

    最大出口壓力

    1000 mbar/760 Torr

    1000 mbar/760 Torr

    1000 mbar/760 Torr

    推薦的前級泵

    GV160、GV250、
    E2M80、E2M175

    GV250、GV400、
    E2M175、E2M275

    GV400、E2M275

    電機功率

         

    碳氫化合物

    3 kW/4 hp

    11 kW/15 hp

    11 kW/15 hp

    PFPE

    3 kW/4 hp

    7.5 kW/10 hp

    11 kW/15 hp

    ATEX

    3 kW

    11 kW

    11 kW

    防爆

    4 hp

    15 hp

    15 hp

    環境溫度范圍

         

    工作

    5 至 40°C/40 至 104°F

    5 至 40°C/40 至 104°F

    5 至 40°C/40 至 104°F

    存儲

    -10 至 80°C/14 至 176°F

    -10 至 80°C/14 至 176°F

    -10 至 80°C/14 至 176°F

    最大工作濕度

    90% RH

    90% RH

    90% RH

    推薦用油

    Ultragrade 20

    Ultragrade 20

    Ultragrade 20

    油容量

         

    齒輪箱

    1.25 l/1.3 qt

    3.5 l/3.3 qt

    3.5 l/3.3 qt

    聯軸器蓋

    1.5 l/1.6 qt

    6.5 l/7 qt

    6.5 l/7 qt

    軸封儲油器

    0.125 l/0.25 qt

    1.5 l/1.4 qt

    1.5 l/1.4 qt

    重量

    74 kg/163 lb

    308 kg/679 lb

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