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      英國愛德華真空泵
    愛德華羅茨泵EH系列
         詳細描述:

    愛德華真空泵/EDWARDS真空泵/愛德華羅茨真空泵

    EH機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎,仍是最受歡迎的泵,可用于壓力范圍為0.0110 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

    機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下,因此高度可靠。

    應用

    ·                                半導體制程

    ·                                真空蒸餾

    ·                                真空包裝

    ·                                鋼脫氣

    ·                                薄膜覆層

    ·                                真空冶金

    ·                                低密度風洞

    ·                                空間模擬

    ·                                真空浸漬

    ·                                油干燥和脫氣

    ·                                制藥冷凍干燥

    ·                                CO2激光

    功能和優勢

    ·                                適用于在0.0150 mbar/0.007537.5 Torr的壓力范圍下、需要超過3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的應用場合。

    ·                                它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。

    ·                                EH泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供:

    ·                                                       o   安靜的無振動運行。

    ·                                                       o   牢靠且防腐蝕。

    ·                                                       o   先進的軸封技術,處理艙中不會出現油污染

    ·                                防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

    ·                                經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護要求降到最低。

    ·                                軸封的設計經過優化,可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要最高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

    ·                                動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小,而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。

     

    技術數據

     型號

    EH250

    EH500

    EH1200

    EH2600

    EH4200

    排量(工作容積)

    310 m3h-1/ 185 ft3min-1

    505 m3h-1/ 300 ft3min-1

    1195 m3h-1/ 715 ft3min-1

    2590 m3h-1/ 1525 ft3min-1

    4140 m3h-1/ 2440 ft3min-1

    使用前級泵時的有效抽速

    240 m3h-1/ 141 ft3min-1

    350 m3h-1/ 206 ft3min-1

    840 m3h-1/ 495 ft3min-1

    1750 m3h-1/ 1031 ft3min-1

    3100 m3h-1/ 1825 ft3min-1

    泵的壓力差

    0-180 mbar/0-140 Torr

    0-110 mbar/0-83 Torr

    0-90 mbar/0-68 Torr

    0-80 mbar/0-60 Torr

    0-60 mbar / 0-45 Torr

    進氣口連接

    ISO63

    ISO100

    ISO160

    ISO160

    ISO250

    出口連接

    ISO40

    ISO63

    ISO100

    ISO100

    ISO100

    轉速

    0-2900 rpm

    0-2900 rpm

    0-2900 rpm

    0-2900 rpm

    0-2900 rpm

    連續進氣口工作壓力

    0-1000 mbar/0-760 Torr

    0-1000 mbar/0-760 Torr

    0-1000 mbar/0-760 Torr

    0-1000 mbar/0-760 Torr

    0-1000 mbar/0-760 Torr

    最大出口壓力

    1000 mbar/760 Torr

    1000 mbar/760 Torr

    1000 mbar/760 Torr

    1000 mbar/760 Torr

    1000 mbar/760 Torr

    推薦的前級泵

    GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80

    GV80,E2M80

    GV160、GV250、
    E2M80
    、E2M175

    GV250、GV400、
    E2M175
    、E2M275

    GV400、E2M275

    電機功率

     

     

     

     

     

    碳氫化合物

    2.2 kW / 3 hp

    2.2 kW/3 hp

    3 kW/4 hp

    11 kW/15 hp

    11 kW/15 hp

    PFPE

    1.5 kW / 2 hp

    1.5 kW/2 hp

    3 kW/4 hp

    7.5 kW/10 hp

    11 kW/15 hp

    ATEX

    2.2 kW

    2.2 kW

    3 kW

    11 kW

    11 kW

     

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